设备技术指标及组成

1  主机

a） X、Y轴行程不小于100mm ；

b） Z轴测量范围不小于200mm；

c） X/Y/Z位移精度高于0.1um； 

d） X、Y导轨直线度不大于2um；

e） X、Y、Z定位精度高于2um；

f） 工作台最大承重量不小于10kg。

2   测量头

a） 垂直测量范围不小于0-1000 um，工作距离不小于10mm；

b） 轴向分辨率高于30nm，轴向精度高于0.3um；

c） 最大爬坡能力不小于±25°。

3   专用分析软件

a）可编程测量, 三轴全自动；

b）可用于分析外轮廓, 粗糙度, 波纹度等参数；

c）涵盖所有现行的国际粗糙度通用标准；

d）可复现三维形貌；

e）微观高度差, 距离, 角度等其他参数评估；

f）测量点管理及再采集, 轮廓提取, 体积测量等其他辅助功能；

g）表面图层研究, 颗粒度, 纹理研究等。